GlroyPolaris是GloryEX产品系列中最高精度场求解器（Field Solver），基于有限差分法（Finite Difference Method,FDM）求解Maxwell偏微分方程，适用于小尺度、高精度仿真场景，如金属互连模型（Interconnect Model）中的通用Structure A/B结构等。该求解器采用确定性算法，其结果可作为行业黄金标准，提供最高级别的精度参考。 GloryPolaris具备先进工艺与成熟平面工艺（Planar MOS）下的高精度寄生参数提取能力。基于Foundry TD端提供的硅数据（Silicon Data），Pattern，Rule，Profile等信息进行高保真3D建模，支持融合BEOL，CMP，Etch-Loading等工艺效应模块，实现与实际制造工艺高度一致的仿真结果。
支持高精度高性能电容电阻计算：GloryPolaris内置高精度场效应求解器，具备自动化网格和优化求解方法，大幅缩短单核求解时间和求解范围。适用于对应器件的SPICE Model高度拟合的Cco-Cf 建模及Interconnect Model建立。
基于工艺效应库和通用模型结构库简化结构模型建立：GloryPolaris配备完善的工艺效应库和通用模型结构库，支持常见Interconnect模型通用结构建立并融合多种工艺效应，支持输入文件自动化生成，缩短建模准备时间。
输入结构文件语法灵活，支持多种基本结构定义：GloryPolaris的结构定义文件可支持循环、条件判断等语法，同时支持简单数学运算，如四则运算、指数运算、对数运算、绝对值运算、三角函数等，可以用于直接定义复杂结构。支持图形结构的布尔运算和优先级设置，方便用户定义图形间的遮挡关系，如导体和介质层的优先级，简化结构定义流程。
可视化校验工具 GloryPolaris Viewer：GloryPolaris配备易用的 GUI 查看工具，GloryPolaris Viewer支持直接读入输入结构文件产生3D效果图，支持结构360o旋转观测，可选择图形的透明度，观察图形间的透视关系，支持不同界面自定义显示，方便用户实时检测结构正确性。同时支持导入并显示求解器计算得到的电势分布图。
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