产品概述
GloryPolaris 基于有限差分法（Finite Difference Method），求解 Maxwell 偏微分方程，适用于小尺度、高精度计算，如金属互连模型（Interconnect Model）中的通用结构等。因其确定性算法，该求解器计算出的结果可作为最高精确度的Golden 标准。
GloryPolaris 提供先进工艺和成熟工艺（Plannar MOS）的最高精度寄生参数提取。以 Silicon Data，Pattern，Rule，Profile 等 Foundry TD 端输入数据进行 3D 建模，支持融合 BEOL，CMP，Etch-loading，TSV Modeling 等工艺效应模块。GloryPolaris 可用于器件级寄生电容的精确求解及金属互连模型的建立。
产品亮点
可分析基础互连结构并融合多种工艺效应
和对应器件的 SPICE model 高度拟合的 Cco-Cf 建模
和对应器件的 SPICE model 高度拟合的先进工艺器件级寄生提取
可仿真 Cgc curve与silicon 数据交互验证
易用 (GUI)GloryPolarisViewer 用于检测结构正确性
业界领先的精度和极其出色效能
自动化生成重要互连结构
融合工艺技术参数（SPEC）和设计规则（Design Rules）
基于不同工艺制成（process technology）的自动化互连结构表征，易于 interconnect model 建立
自动化网格以求解泊松方程 Poisson’s equation
浙公网安备 33010802011331号