GloryEX3D®
GloryEX3D是一款器件级高效寄生参数场求解器,是τ-Aware工具框架中的器件级精度基座。基于随机漫步法(Random Walk)对Maxwell偏微分方程进行高效求解,适用于复杂三维结构的寄生参数提取。支持FinFET、GAA、CFET、Planar MOSFET、Nanosheet等先进工艺结构,精度高达0.1nm。

主要功能
标准单元与SRAM表征:支持Standard Cell、SRAM表征及关键路径的电容求解
精确提取Critical Net电容:支持Total-Cap和Coupling-Cap的精确提取
多尺度建模:支持从BEOL、Pcell、Standard Cell到SRAM芯片的多尺度建模,可在不同层次上进行分析和优化
先进工艺结构支持:支持Planar MOSFET、FinFET、Nanosheet、CFET工艺寄生参数提取,精度高达0.1nm
深度拟合晶圆厂Golden数据:获多家头部晶圆厂精度认证
高并行低内存:内存消耗低,具备强大的并行和分层计算能力,可并行数千量级CPU
3D图形查看器:可查看建模精确工艺数据图表及立体结构,精确表征导体和电介质参数
Tech File加密:支持Tech File加密,确保代工厂工艺信息安全
