GloryPolaris®
GloryPolaris是一款高精度3D寄生参数建模工具，是τ-Aware工具框架中的最高精度场求解器（黄金标准）。基于有限差分法（FDM）求解Maxwell偏微分方程，基于晶圆厂TD端提供的硅数据、Pattern、Rule、Profile等信息进行高保真3D建模，支持融合BEOL、CMP、Etch-Loading等工艺效应模块。
主要功能
高精度电容电阻计算：内置高精度场效应求解器和自动化网格优化求解方法，缩短单核求解时间
SPICE Model高度拟合：支持对应器件的SPICE Model高度拟合的Cco-Cf建模及Interconnect Model建立
工艺效应库与通用模型结构库：配备完善的工艺效应库和通用模型结构库，支持常见Interconnect模型通用结构建立并融合多种工艺效应
自动化结构生成：支持自动化生成重要互连结构，缩短建模时间
易用GUI界面：实时检测结构正确性，支持读入输入结构文件产生3D效果图，支持结构360°旋转观测，支持导入并显示求解器计算后的电势分布图
产品亮点
应用场景
应用场景
器件级寄生电容的精确求解及金属互联互连模型（Interconnect Model）中的通用Structure A/B结构建立，可作为工艺文件收敛精度目标。